EmmaChen

基础+干货,MEMS技术给讲全、讲透了!

EmmaChen 在 2017-5-5 建立的討論區
最後回覆由Amenda-NanYa於2017-5-26提供

传感器技术哪家强?MEMS技术当为王。。。哈哈,没错,MEMS传感器应用几乎无处不在了哦,不是么,拆开你的手机看看呗,少说也有那么三五个,哈哈~话说,常常有小伙伴问到小编关于MEMS的各种基础概念,今天偶得一篇好文章,必须贴出来分享下,从概念到工艺,讲透了,觉得好的筒子们请帮忙转发哦,点个赞呗,(*^__^*) ……

 

MEMS是Microelectromechanical systems的简称,即微机电系统/微机械/微系统。虽然对其有辣么陌生,但是在我们生活中早已无处不在,几乎近期的智能手机、健身手环、打印机、汽车等设备都应用了MEMS器件。

 

MEMS传感器主要优点是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等,是微型传感器的主力军。常见产品有压力传感器,加速度计,陀螺,静电致动光投影显示器,DNA扩增微系统,催化传感器。

 

MEMS器件加工技术并非机械式,相反,它们采用类似于集成电路批处理式的微制造技术。

图片1.png

 

MEMS器件制造流程

你看MEMS和ASIC (专用集成电路)都采用相似的工艺,因此具有极大的潜力将MEMS结构与微电子集成,然鹅,集成二者难度还是非常大滴(主要因素是如何在制造MEMS保证IC部分的完整性)。

 

虽然难度挺大,但在超越一切可能的ADI面前,显然是可以实现它滴,一个成功的例子就是ADXL203(高精度、低功耗、单轴/双轴加速度计,输出经过信号调理的电压)。

 

(作者果然很专业哦,对俺们家的双轴加速度计很熟悉,没错ADXL203是一款多晶硅表面微加工传感器并集成信号调理电路,如需更多关于ADXL203信息,请点以下链接:

http://www.analog.com/cn/products/mems/accelerometers/adxl203.html#product-overview

 

顺便分享一篇设计方案资料——双轴加速度计ADXL203和12位逐次逼近(SAR)型ADC AD7887,打造出一款双轴倾斜测量系统http://www.analog.com/cn/design-center/reference-designs/hardware-reference-design/circuits-from-the-lab/CN0189.html#rd-description

結果