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MEMS器件的新表征方法——动态3D显微样片展示,惯性传感器,MEMS麦克风,MEMS微执行器

dhm-mems 在 2017-9-30 建立的討論區

惯性传感器、MEMS微执行器、MEMS麦克风,还有更多应用未展示

采用的是数字全息显微镜DHM,可以做3D实时超快显微,同时测量面内和离面运动,离面运动的测量精度与市面多普勒激光测振仪一样,面内运动精度是1nm

惯性传感器.gif微执行器.gifAcoustic-MEMS-Microphone-250kHz-sample2-crop.gif

結果