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三轴MEMS加速度计中X轴和Y轴的一致性更好,为什么?

Jacho 在 2018-6-7 詢問的問題
最後回覆由neilzhao於2018-6-16提供

ADI的工程师,早上好:

     我之前有使用过ADXL355这款三轴加速度计,那时给我留下很大印象是,X轴和Y轴的零点、增益一致性保持得很好,而Z轴和它们相差很大。

    现在我需要做一个倾角仪的方案,我想进一步地了解,上面这种情况,是不是加工工艺上的缺陷?所有的MEMS加速度计都存在这个问题?  我的想法是,加工时候,X轴和Y轴的传感器在一个平面上,而Z轴传感器和其他两个轴,不在一个平面上,所以X、Y轴的一致性更好。是这样的吗?

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