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ADXL001MEMS传感器与传统压电式icp传感器的区别

cynosure 在 2014-6-13 詢問的問題
最後回覆由mefuli於2017-1-3提供

大家好,我想了解下ADXL001 MEMS传感器 在电气性能上与现在在工业领域常用的压电式加速度传感器有什么差别。目前几乎大多数的工业振动加速度传感器都是压电式的传感器。而ADXL001 看上去 要显得体积更小且对温度的承受能力也在工业应用的范围内。在电气性能上,0.2%的非线性度,0-22khz的频响范围都不比压电式传感器弱。

但是为什么现在在工业上对于一些旋转机械的振动监测中,还没有出现MEMS类的传感器呢?现有的一些大的加速度传感器厂商如本特利,CTC,PCB等都还没有出现MEMS技术的传感器,这是由于这项技术比较新潮还是说在某些细节上和压电式的传感器还有些差距导致的?

  另:从PDF上似乎无法看出该MEMS传感器在长时间的使用后性能下降的概述。

結果